一种用于电容式COMS-MEMS加速度计的低功耗低噪声双斩波放大器

一种用于电容式COMS-MEMS加速度计的低功耗低噪声双斩波放大器(中文6800字,英文PDF)
摘要——本文发表了一种新型双斩波放大器（DCA）以及其在单片互补金属氧化物半导体微电机系统加速度计中的应用。这种双斩波放大器设计通过在两个时钟上切断传感信号，最大限度地减少了功耗和噪声。第一个时钟是一个高频时钟用于消除闪烁噪声，而第二个时钟是一个显著低频时钟用于保持单位增益带宽较低。采用Post-CMOS微加工工艺，成功地制作了一个与DCA集成在同一芯片上的单片三轴加速度计。测得的X轴和Y轴噪声下限为40/√Hz，Z轴噪声下限为130/√Hz，每个轴的功耗约为1mW。
索引项——加速度计、电容传感、斩波稳定、互补金属氧化物半导体微机械系统（CMOS-MEMS）、双斩波放大器（DCA）、微电子机械系统（MEMS）、单片集成电路。